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Appareils de maniement pour l'industrie de semiconducteurs et l'industrie solaire
Robots de maniement de plaquettes de silicium
Pinces de robot
Cellules de robots
Installations d'automatisation pour l'industrie de semiconducteurs et l'industrie solaire
Dr. Steffen Pollack Heinz Martin Esser
HRB 3620, Dresden
1991
DE 140 207 637